微傳感器應(yīng)用在微機電系統(tǒng)
2013-12-18 10:07:51??????點擊：
一個典型的MEMS產(chǎn)品主要由微傳感器、數(shù)字處理電路、微執(zhí)行器、微能源等組成。而微機電傳感器是利用微機械加工技術(shù)與微電子加工技術(shù)制作的各種傳感器。大家都知道傳感器是將外部信號轉(zhuǎn)化為電信號的一種裝置，能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件，通常由敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。
敏感元件是傳感器中能直接感受或響應(yīng)外界信號的部分，轉(zhuǎn)換元件是傳感器中能將敏感元件感受或響應(yīng)的外界信號轉(zhuǎn)換成適合于傳輸或測量的電信號部分。微機電傳感器加工技術(shù)制作的各種傳感器，與傳統(tǒng)技術(shù)制作的傳感器相比，具有以下特點：微型化和集成化，高精度，高壽命，低成本，低功耗，快速響應(yīng)。微傳感器的以上特點決定著其具有廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域，在汽車工業(yè)、航空航天、生物醫(yī)學、家用電器、環(huán)境測量、國防軍事等均具有巨大的應(yīng)用潛力。
一般所提到的微機電傳感器有幾個大類：分別是壓阻傳感器，電容傳感器，壓電傳感器，諧振傳感器，隧道傳感器，熱傳感器，光傳感器，化學傳感器，微加速度傳感器等。這些微機電傳感器都有著不同的原理，但是有著相同類似的性能。他們都具有快速的響應(yīng)速度，在微機電系統(tǒng)是不可缺少的器件。
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